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系列掃描探針顯微鏡 |
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| CSPM5500/CSPM5500A/CSPM5500LS(“國家重大科學儀器設備開發專項”成果轉化產品) |
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國際主流的研究級專業儀器，集成原子力顯微鏡(AFM)，橫向力顯微鏡(LFM)，掃描隧道顯微鏡(STM) |
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解析度： 原子力顯微鏡：橫向0.2nm，垂直0.03nm（以雲母晶體標定） |
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掃描隧道顯微鏡：橫向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶體標定） |
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高精度計量型儀器，採用NanoSensors提供的可溯源于國際計量權威機構PTB的標準樣品進行校準 |
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一鍵式快速全程全自動進樣，無需手動預調，行程大於30mm，可容納超大樣品，最大樣品尺寸為：45mm×45mm×30mm |
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兩級可讀數樣品調節機構，可對樣品進行精確的檢測區域定位 |
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一次掃描技術，圖像分辨高達4096×4096物理象素，微米級掃描即可得到納米級的實際資訊 |
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先進PID回饋演算法實現快速高精度作用力控制，確保系統在高速掃描中穩定成像，實際掃描速度提升一個數量級 |
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系統採用10M/100M快速乙太網(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與電腦連接，支援固件遠端升級 |
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主控機箱前面板具有16×4液晶顯示幕，系統當前狀態即時顯示 |
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具備即時線上三維圖像顯示功能，便於用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品資訊 |
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集成了多功能，多模式的新型原子力顯微鏡。 |
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系統功能 |
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 標準模組： |
| 原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式 |
| 橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學性能分析測量功能 |
| 掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等 |
| 曲線測量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等 |
| 選配功能： |
| 納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機械刻畫、向量掃描模式、DPN浸潤筆模式等 |
| 磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡 |
| 環境控制掃描探針顯微鏡 |
| 液相掃描探針顯微鏡 |
| 導電原子力顯微鏡 |
| 掃描探針聲學顯微鏡 |
| 掃描開爾文探針顯微鏡 |
| 掃描電容顯微鏡 |
| 壓電力顯微鏡 |
| 樣品溫度控制系統（控溫範圍：-20～150℃） |
| 樣品加熱系統（控溫範圍：室溫～250℃） |